半导体缺陷自动
分类系统
产品介绍
产品特点
1. 可定制:针对Sinf图、2D/3D缺陷导出可以定制化输出格式;
2. 任务分发:自动推送机台扫描完成的wafer,无需手动查找;
3. 管理员机制:分级权限设定,不同质检员有不同的操作权限;
4. 统计分析:支持良率导出、过检漏检率分析、缺陷图像导出等。
上一个产品
良率管理系统DMS/YMS
下一个产品
半导体光刻分析与控制系统
微信二维码